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高精度MEMS电场敏感器件及非侵入静电压传感器项目概述
本项目面向电子信息制造,智能电网等领域静电压探测的重大应用需求,开展高精度MEMS电场敏感器件及非侵入静电压传感器的研发及批量化制造工作。