量产型8英寸MBE系统的自主研发与生产项目

项目概述

本项目旨在实现量产型8英寸分子束外延(MBE)系统的自主研发与生产。MBE技术是一种在超高真空环境中逐层生长半导体材料的精密技术，具有界面平整，组分可控，低温生长等优势，广泛应用于光通信，激光雷达，量子器件，红外探测，高效太阳能电池等领域。目前国内MBE设备严重依赖进口，面临技术封锁与禁运风险。本项目的实施将打破国外垄断。